STACIS® III - это гибкая передовая система активной виброизоляции. Используя современные инерционные датчики вибрации, сложные алгоритмы управления и новейшие пьезоэлектрические приводы, STACIS устраняет вибрацию в режиме реального времени, непрерывно измеряя активность пола, затем расширяя и сжимая пьезоэлектрические приводы для фильтрации движения пола.

Изначально разработанная для изоляции прецизионного микролитографического, метрологического и инспекционного оборудования на передовых полупроводниковых заводах, система STACIS сегодня является стандартным решением для самых чувствительных приборов в шумных средах, включая, в частности, полупроводниковые заводы, лаборатории анализа отказов, нанотехнологические исследования, нанофабрики и исследования материалов

STACIS III включает новый усовершенствованный цифровой контроллер DC-2020. Благодаря новому двухъядерному процессору, Ethernet, а также последовательным портам USB на передней и задней панелях, эта новая усовершенствованная система управления предоставляет пользователю современный и простой в использовании графический интерфейс пользователя (GUI). STACIS - это идеальная система виброизоляции для самых чувствительных к вибрации приборов, имеющая сотни успешных установок по всему миру.

В сотни раз жестче, чем воздушные изоляторы, STACIS не имеет ни одного из ограничений, присущих воздушным системам виброизоляции. Нет "мягкой" подвески, и, в отличие от активных воздушных систем, STACIS может быть размещен под инструментом с внутренней активной воздушной системой изоляции, при этом обе системы полностью оптимизированы.