НОВОЕ РЕШЕНИЕ ДЛЯ ИЗОЛЯЦИИ ВИБРАЦИИ
Тихая активная система изоляции новый модуль отменяя и этап-рожденные и земл-рожденные вибрации вдоль 6 степеней свободы, предотвращая их от perturbating процесс случаясь поверх вашей платформы движения.

Большую часть времени лидирующие применения в индустрии полупроводника интегрировать сложную установку оборудования, которая, в той или иной, соединена с гранитом платформы движения. Как таковой, любая вибрация на уровне гранита переводит в неточности и более длинные устанавливая времена на отростчатом уровне инструмента. Спасибо решение ETEL, получая освобожданы тех вибраций никогда не были сделаны настолько эффективно!

НАЖАТИЕ ПРОВЕДЕНИЯ ДВИЖЕНИЯ К СЛЕДУЮЩЕМУ УРОВНЮ
Тихая серия нажимает стратегию интеграции одного шага вперед ETEL переднюю. С этого момента, предварительная платформа движения от ETEL не только включает предварительную систему движения и свои связанные современные регуляторы движения, но может также извлекать пользу из модуля изоляции ETEL собственнического активного. Это делает ETEL единственного поставщика системы движения способной покрыть такой широкий объем поставки!

Спасибо собственнический малошумный датчик и однородное, полностью цифровая, и детерминистская архитектура контроля за движением основанные на 1 Gb TransnET, ETEL уменьшают движение и времена скамьи к беспрецедентным значениям. С точностью feedforward ускорения достигая более сильно чем 99%, меньше чем 1% из энергии произведенной движением этапа движения остается на уровне гранита! Массу гранита на активной системе изоляции можно поэтому держать небольшим, которая в свою очередь уменьшает общую недвижимость и массовый, пока обрабатывающ инструменты сразу извлекайте пользу из более тихой окружающей среды.