ПИРАНИОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК СЕРИИ G-TRAN СПИРАЛЬНЫЙ ДАТЧИК SP1
Блок датчиков SP1 представляет собой интегрированный пираниметр, состоящий из измерительной головки и микросхем серии WP для диапазона от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 3×10-3 Торр/ 3 до 4×10-3 мбар). Этот вакуумметр обеспечивает снижение затрат и экономию места за счет минимизации функций. Это можно сделать, удалив дисплей. характеристики датчика
Если вам не нужно устройство отображения давления:
Вы можете снизить затраты, связанные с вакуумметром.
Экономия места достигается за счет минимизации занимаемой площади панели управления.
Вы можете минимизировать количество проводов.
Техническая пригодность
Замена головок датчиков значительно упрощается.
Материал волокна: платина (Pt)
Коррозионностойкая платина используется для материала нити накаливания.
Возможность использования измерительных головок серии WP
Текущие измерительные головки (WP-01, 02, 03, 03, 16) можно использовать без
модификации.
Выходной сигнал управления
Возможно использование двух заданных значений.
Выходной сигнал
Показание давления представляет собой выход 0-5 В (нелинейный).
Напряжение питания
Устройство работает с входом DC24V. управление процессом в диапазоне низкого вакуума вакуума вакуумного оборудования, такого как
Что касается производства полупроводников, оптики и электронных компонентов.
Управление технологическим процессом в диапазоне низкого вакуума для промышленного оборудования, такого как
как вакуумные печи и т.д.
Регулирование процесса в диапазоне низкого давления для вакуумных систем с
несколько технологических камер, таких как распыление в линию и одноступенчатая вафля
технологическое оборудование.