Установите новые стандарты с помощью преобразователя Пирани серии VersaTorr BVT200/225. Это универсальное решение для измерения в широком диапазоне для широкого спектра вакуумных приложений. Он отличается от любых других вакуумметров тем, что предлагает экономически эффективное измерение от 5,0E-3 до 1333 мбар в сочетании с измерением до 1E-6 мбар по принципу тепловых потерь.

В вакуумных системах, где состав или тип газа может меняться, традиционные газозависимые манометры Пирани приведут к отклонению измерений от фактического давления. В датчике Tri- Sensor используется прецизионный емкостной мембранный манометр (CDG), который устраняет газовую зависимость и обеспечивает точные измерения даже при изменении свойств газа.

Встроенный MEMS-датчик Пирани с тепловыми потерями расширяет диапазон измерений до 1E-6 мбар и обеспечивает новую автоматическую настройку нуля емкостного манометра, что устраняет обычную необходимость ручной настройки нуля традиционных емкостных мембранных манометров.

Особенности и преимущества

Сверхширокий диапазон измерений 9 декад
Емкостная мембрана обеспечивает повышенную точность при 0,5% в диапазоне низкого вакуума
6 декад независимого измерения газа от 5E-3 до 1333 мбар
Автоматическое обнуление емкостного манометра
Датчик температуры вакуума для диагностики

Применение

Грузовые шлюзы
Передаточные камеры
Форлайны
Вакуумные черновые линии
Обработка тонких пленок