SPG5A-6A - это мембранный вакуумметр с мембранной емкостью, в котором для достижения высокой точности и надежности, компактных размеров и малого веса используется сапфировый датчик давления емкости. Имеются модели с самонагревом и без него. SPG5A/6A особенно подходит для использования в производстве полупроводников.

Особенности
* - Использует монокристаллический сапфир для отличной устойчивости к коррозии и высоким температурам
Высококоррозионный и жаропрочный монокристаллический сапфировый материал для измерения давления также обладает отличными механическими характеристиками. Измерение емкости имеет высокую воспроизводимость даже при использовании при высоких температурах
* - Высокоточное измерение
Передовая технология обработки сигнала способствует отличным температурным характеристикам и линейности измерений
* - Компактность и легкий вес
Малые габариты и легкий вес, благодаря технологии микрообработки
* - Быстрый нагрев и стабильное управление температурой датчика
Цифровой ПИД-регулятор на базе микропроцессора обеспечивает быстрый нагрев и стабильную температуру датчика (модели с самонагревом).