Модуль массового расхода, нечувствительный к давлению

Этот передовой модуль массового расхода, нечувствительный к давлению, оснащен датчиком перепада давления и клапаном с пьезоприводом.

Высокий уровень производительности, обеспечиваемый модулем CRITERION D500, позволяет использовать его для ряда передовых процессов производства полупроводников; нечувствительность к давлению, многодиапазонность/мультигаз/мультидавление, функция самодиагностики G-LIFE (проверка газового закона по уравнению интегрированного ограничителя расхода), высокая точность, быстрый отклик, широкий диапазон и цельнометаллический корпус

Характеристики нечувствительности к давлению
Новая высокопроизводительная функция Pressure Insensitive обеспечивает упрощенную систему подачи газа
Решение для нескольких диапазонов, нескольких газов, нескольких давлений
Новые функции позволяют пользователю изменять тип газа, полномасштабный расход и диапазон давления питания
Функция самодиагностики G-LIFE (проверка газового закона уравнения встроенного ограничителя потока)
Усовершенствованная функция мониторинга состояния процесса позволяет операторам проводить собственные тесты, как правило, за три секунды или менее, что повышает производительность
Высокая точность
Точность расхода технологического газа была улучшена благодаря усовершенствованной трехмерной регулировке
Быстрый отклик
Отклик: < 0,8 секунды
Обеспечивается точное и стабильное регулирование расхода
Динамический диапазон
Широкий диапазон регулирования: 0.2% F.S. до 100% F.S.

"В последнее время, с ростом применения полупроводникового устройства в соответствии с IoT, новейшие полупроводниковые заводы уделяют особое внимание минимизации времени простоя аппаратуры. Поэтому с целью предварительного обнаружения отказов полупроводниковых инструментов и их компонентов увеличиваются управляемые параметры полупроводникового процесса, а его спецификация становится все более жесткой.