Датчики Honeywell Zephyr™ серии HAF обеспечивают цифровой интерфейс для считывания расхода воздуха в заданных диапазонах полномасштабного расхода и компенсированной температуры. Термоизолированный нагреватель и температурные чувствительные элементы помогают этим датчикам быстро реагировать на поток воздуха или газа.

Датчики Zephyr предназначены для измерения массового расхода воздуха и других некоррозионных газов.
10 SLPM - 300 SLPM

Стандартные диапазоны расхода составляют 10 SLPM, 15 SLPM, 20 SLPM, 50 SLPM, 100 SLPM, 200 SLPM или 300 SLPM, возможны нестандартные диапазоны расхода. Датчики полностью откалиброваны и компенсированы по температуре с помощью встроенной интегральной схемы (ASIC).

Датчики серии HAF >10 SLPM компенсируются в калиброванном диапазоне температур от 0 °C до 50 °C [от 32 °F до 122 °F]. Современная компенсация на базе ASIC обеспечивает цифровые (I2C) выходы с временем отклика 1 мс.
±50 SCCM - ±750 SCCM

Стандартные диапазоны расхода доступны при ±50, ±100, ±200, ±400 или ±750 SCCM. Также возможны нестандартные диапазоны расхода. Датчики полностью калибруются и компенсируют температуру с помощью встроенной прикладной интегральной схемы (ASIC).

Датчики серии HAF компенсируются в диапазоне температур от 0 °C до 50 °C [от 32 °F до 122 °F] и работают в диапазоне температур от -20 °C до 70 °C [от -4 °F до 158 °F]. Современная компенсация на базе ASIC обеспечивает цифровые (I2C) выходы с временем отклика 1 мс.

Эти датчики работают по принципу теплопередачи для измерения массового расхода воздуха. Они состоят из микромоста Микроэлектронная и микроэлектромеханическая система (MEMS) с термочувствительными резисторами, на которые нанесены тонкие пленки платины и нитрида кремния.