Микросхемы тепловых датчиков расхода модели TFSC100 разработаны для производства датчиков расхода (например, датчиков расхода TFS2100 от BCM SENSOR). Поскольку в микросхеме TFSC100 нет движущихся частей, эта микросхема датчика подходит для измерения низкого расхода воздуха или газов и может обеспечивать стабильные и надежные сигналы для датчиков расхода.

Измерение расхода с помощью этой микросхемы датчика осуществляется благодаря термомосту, который состоит из четырех терморезисторов, образующих полную цепь моста Уитстоуна. Эти терморезисторы изготовлены из платиновой пленки на чипе с помощью MEMS-процесса. На основе специальной конструкции в измерительной цепи характеристики двух терморезисторов, расположенных вдали от нагревателя, такие же, как у двух других, расположенных вблизи нагревателя. Это позволяет микросхеме датчика расхода TFSC100 работать как линейный датчик.

Чтобы понять принцип работы этого датчика, рекомендуется обратиться к двум схемам в разделе Принцип работы в данном техническом описании.

Хотя для соединения проводов можно использовать как золотые, так и алюминиевые провода, рекомендуется использовать золотые провода. Это связано с тем, что золотые провода могут обеспечить микросхеме датчика более высокую стабильность и устойчивость к коррозии и условиям влажности, когда микросхема датчика измеряет расход среды.

Для защиты микросхемы датчика на верхней поверхности микросхемы TFSC100 имеется пассивирующий слой, который обеспечивает устойчивость микросхемы к воздействию пыли и влаги.