С помощью Nano Focus Probe поверхность заготовки можно захватить в виде трехмерного облака точек и оценить размер, форму, положение и шероховатость микроструктур. Подавление рассеянного света обеспечивает надежное 3D-измерение топографии даже отражающих поверхностей с ошибками зондирования в субмикрометровом диапазоне. Конфокальный оптический датчик также обеспечивает хорошие результаты на крутых склонах с большим углом наклона.

- Различные объективы позволяют адаптировать датчик к конкретной задаче
- Датчик может использоваться во всем измерительном объеме координатно-измерительной машины, а результаты измерений могут быть связаны в одной системе координат
- Общая поверхность может быть рассчитана из нескольких смежных частичных облаков точек практически без потери точности

Диапазон измерений
Измерение "по изображению" со встроенной осью Z 250 мкм

Точность
Допустимая погрешность зондирования до 0,15 мкм

Функциональные возможности
При перемещении головки датчика с а) подсветкой, б) камерой, в) пинхоллом и г) оптикой формирования изображения относительно заготовки д) интенсивность световых точек е), ж) изменяется путем расфокусировки. Наложение расфокусированных световых точек f) предотвращается за счет большого расстояния g).