Высокая скорость и высокое разрешение при сохранении стабильных сверхточных измерений. Идеально подходит для прецизионных этапов, систем контроля/производства полупроводников и сверхточных обрабатывающих станков.

Шкала высокого разрешения с шагом сигнала около 138 нм, превосходящая по своим характеристикам интерферометрические системы на основе световых волн
Высокая стабильность, на которую не влияют влажность, атмосферное давление и воздушные возмущения
Точность опорной точки: ±0,1 мкм
Точность шкалы: ±0,04 мкм (длина измерения: 40 мм)
Бесконтактная конструкция исключает ошибку возврата.
Длина измерения: от 40 до 420 мм, 9 типов (-R/-RS)
Длина измерения: от 10 до 420 мм, 10 типов (-N/-NS)
Имеются специальные немагнитные и вакуум-совместимые модели
Использование стекла с низким расширением: -0,7 x10-6 °C (длина измерения: от 10 до 420 мм)
Разрешение: 2,1 пм