Высокоточное бесконтактное абсолютное измерение положения на 64 синхронизированных каналах

Система ZPS SensorZYGO ZPS™ измеряет абсолютное положение с помощью ультракомпактных оптических датчиков, которые легко интегрируются в высокоточные приложения, такие как деформируемые зеркала и позиционирование линз.

Система оптических датчиков обеспечивает до 64 синхронизированных каналов высокоточного, бесконтактного, абсолютного измерения положения в диапазоне 1,2 мм. Разрешение измерений составляет 0,01 нм при стабильности измерений ≤ 1 нм/день.

Оптический датчикОптические датчики не выделяют тепла и нечувствительны к электромагнитным помехам, что делает систему ZPS идеальной для высокоточных приложений, на которые могут влиять эти факторы. Сверхкомпактные датчики подключаются к компактному централизованному корпусу с помощью оптоволоконных кабелей. Бесплатное программное обеспечение ZYGO ZPS™ обеспечивает соединение системы ZPS с компьютером по принципу plug-and-play, позволяя быстро и легко начать работу с системой.

Система ZPS обычно используется в замкнутых системах с обратной связью, где требуется непрерывный поток высокоточных данных о положении от нескольких датчиков для компенсации смещения и поддержания точного позиционирования и выравнивания. Система также может использоваться в качестве инструмента в научно-исследовательских и опытно-конструкторских работах и на производстве для выравнивания в испытательных приспособлениях или для количественной оценки динамических механических характеристик.

- Бесконтактное оптическое измерение
- Повторяющееся абсолютное измерение положения (≤ 0,5 нм, 3σ)
- Высокоточная система с использованием запатентованных алгоритмов компенсации
- Ультракомпактные датчики без чувствительности к электромагнитным помехам и без выделения тепла
- Надежные волоконно-оптические компоненты, проверенные телекоммуникационными компаниями
- Масштабируемость, до 64 каналов