Зондовая система Octiv VI представляет собой систему измерения напряжения, тока и фазового угла в линию. Он может измерять отдельные фундаментальные частоты и их гармоники с точностью до 1% и временным разрешением 1 мкс. Каждая система имеет раскрывающееся меню с возможностью выбора из 5 основных частот.

Он измеряет напряжение, ток, фазовый угол, импеданс и гармоники, и измерения можно просматривать с ПК или непосредственно на измерительном приборе.

Зондовая система Octiv VI позволяет пользователям выбирать одну основную частоту из пяти в раскрывающемся меню и извлекать всю информацию о гармониках для каждого измеряемого параметра.

Зонд Octiv VI представляет собой одночастотный датчик импеданса, который обычно располагается после матчевого блока. Он используется для измерения импеданса нагрузки в таких областях применения, как плазменные процессы. Он контролирует напряжение, ток и фазу одной основной частоты и ее гармоники. Зонд Octiv VI идеально подходит для точного мониторинга отдельных плазменных систем.

Octiv VI откалиброван на пять основных частот: 2 МГц | 13.56 МГц | 27.12 МГц | 40.68 МГц | 60 МГц и имеет диапазон мощности от 0 до 12 кВт.