Системы SPS-1000, SPS-2000 и SPS-2200 - это лучшие ручные измерительные станции компании MicroXact, разработанные для гибкости и простоты использования. Высокий уровень производительности и доступность этих ручных измерительных систем ставят их в один ряд с другими.

Благодаря возможности работы с пластинами до 200 мм, датчиками постоянного или радиочастотного тока и дополнительным термопатроном, а также различным вариантам экранирования, наши измерительные станции могут использоваться для широкого спектра приложений, таких как анализ отказов, испытания на надежность, испытания IV/CV, испытания на низкие токи и определение характеристик микроволновых и радиочастотных устройств.

Испытания на IV, CV и малые токи с помощью ручных зондовых станций MicroXact обеспечивают точные и аккуратные измерения, необходимые для определения характеристик полупроводниковых устройств. Испытания емкостей и малых токов на уровне полупроводниковых пластин еще никогда не были такими простыми благодаря разнообразию доступных опций и гибкости ручных зондовых станций MicroXact.

Особенности
- Ручная сборка стола доступна с дополнительным ползуном предварительной нагрузки для легкой загрузки и выгрузки пластин или образцов.
- Ручное управление положением пластины и патрона по оси Z с грубой и точной регулировкой.
- Гладкая литая стальная плита вмещает до 10 магнитных или вакуумных позиционеров.
- Коаксиальные и триаксиальные патроны, а также корпуса доступны для испытаний с низким током утечки.
- Стандартный узел крепления штанги для позиционирования микроскопа в полном диапазоне XYZ.
- Доступные микропозиционеры высокого разрешения с винтами 80TPI для позиционирования зондов на уровне мкм
- Доступные микропозиционеры высокого разрешения с винтами 80TPI для позиционирования зондов на уровне мкм.