Виброметрическая система для микроструктур и МЭМС

высокоточное, бесконтактное измерение вибрации на микрообъектах

простота настройки и обращения

широкие возможности запуска

X-Y стол 50 мм x 50 мм, другие опции по запросу

Объектив микроскопа 10x, 20x, 50x

Диаметр пятна 2 мкм - 10 мкм, (в зависимости от объектива)

Возможно использование виброметрического блока в качестве оригинального оборудования

открытые интерфейсы для программного обеспечения OEM под Windows и Linux

Программное обеспечение БПФ для спектрального анализа

Нано-вибрационный анализатор NA представляет собой комбинацию виброметра с волоконной связью серии LSV 120 NG и инженерного микроскопа. Система идеально подходит для измерения динамического поведения и статического прогиба микроструктур, МЭМС и кантилеверов. В зависимости от используемого объектива, размер пятна измерения может быть менее 2 мкм.
Измеряемый объект можно позиционировать и сканировать в широком диапазоне с помощью X-Y столика и наблюдать за ним через камеру. Объектив микроскопа является сменным и определяет как видимый диапазон, так и диаметр лазерного пятна. Достижимое разрешение смещения лазерного интерферометрического виброметра находится в пикометровом диапазоне, и можно анализировать частоты вибрации до 5 МГц.
Для сбора и отображения данных измерений предлагается специально разработанное программное обеспечение. Помимо частотного анализа вибрации и триггерной записи измерений, это программное обеспечение позволяет управлять X-Y столом и внешним генератором частоты. Более сложные последовательности измерений могут быть автоматизированы с помощью сценариев.