Интерферометры белого света от Micro-Epsilon оптимизированы для промышленных целей и обеспечивают точность, которая создает беспрецедентный уровень точности при измерении оптического расстояния и толщины. Портфолио состоит из трех различных версий интерферометров, предназначенных для различных областей применения. Эти системы достигают стабильных результатов измерений с разрешением в диапазоне субнанометров.
-
С разрешением < 30 пикометров, инновационные интерферометры от Micro-Epsilon достигают нового уровня точности оптических технологий измерения. В зависимости от области применения доступны три различных версии. IMS5400-DS для высокоточных и промышленных дистанционных измерений; IMS5400-TH для точных измерений толщины; и IMS5600-DS с вакуумно-пригодной конструкцией для дистанционных измерений субнанометровой точности.

Высокоточный IMS5400-TH используется для измерения толщины тонких прозрачных материалов. Измерение производится с помощью всего одного датчика, независимо от расстояния до объекта измерения, который допускает трепетание или перемещение объектов измерения. Источник ближнего инфракрасного излучения также позволяет измерять толщину стекла с антибликовым покрытием.

IMS5400-DS используется для промышленных дистанционных измерений. Измерительная система обеспечивает абсолютные значения измерений и надежно обнаруживает, например, ступени и кромки без потери сигнала

IMS5600-DS предназначен для измерения расстояний в чистых помещениях и вакуумной среде (до СВН). Специальная калибровка контроллера обеспечивает субнанометрическое разрешение, которое требуется, например, при выравнивании датчика или позиционировании столика.