Высокоточное бесконтактное измерение перемещений

Для высокоточного измерения перемещений SmarAct предлагает интерферометр PICOSCALE.

- 3 параллельных лазерных интерферометра в одном приборе для 3D измерений
- Полоса пропускания измерений до 2,5 МГц (частота дискретизации 10 МГц) с разрешением до 1 пм1
- Измерения возможны на большинстве материалов (пластик, стекло, металл и даже вода)
- Широкий выбор головок датчиков для различных применений и сред (включая вакуум и криогенную среду)
- Возможность расширения до полного лабораторного измерительного и контрольного прибора с помощью дополнительных модулей
- Проверенная производительность с сотнями довольных клиентов

1 При анализе периодических смещений в частотной области

Примеры применения

Оптические измерения смещения с высоким разрешением пьезосканера
Точное позиционирование образцов представляет первостепенный интерес в различных областях применения. Хотя системы позиционирования с пьезотехнологией "палка-скольжение" предлагают универсальные возможности, в некоторых приложениях поведение скольжения нежелательно. В этом случае пьезосканеры демонстрируют весь свой
потенциал, поскольку они могут очень точно позиционировать образец в диапазоне нескольких микрометров. В этом приложении проверяются этапы работы пьезосканера. В режиме замкнутого цикла, используя оптический энкодер в качестве датчика, используется интерферометр PICOSCALE для выявления однонанометровых шагов.

Измерения прямолинейности трансляторов DeepL
Измерение прямолинейности ступеней трансляции DeepL является одним из типичных применений интерферометра PICOSCALE.