Интерферометры TOPOS работают по принципу пастбищной освещенности. Также можно измерить плоскостность более грубых деталей, которые больше не показывают рисунок полос с помощью оптических плоскостей или Fizeau-интерферометров. На основе интерференционного шаблона компьютер рассчитывает плоскостность испытуемого объекта. Рядом с притертыми или отшлифованными деталями могут быть измерены также полированные детали. Детали могут быть изготовлены из различных материалов:

- металл (сталь, алюминий, бронза, медь и т.д.)
- керамика (AL2O3, SiC, SiN и т.д.)
- пластик
- и всё такое

Интерферометры могут быть размещены в производственной линии, рядом с обрабатывающей машиной. Абсолютная точность составляет до 0,1 мкм по всей площади измерения.

TOPOS 50 является бесконтактным прибором для измерения плоскостности для прецизионного изготовления
поверхности с субмикронной точностью.
Приборы TOPOS для измерения плоскостности отвечают требованиям объективно работающих измерительных приборов для производства и контроля качества сложных компонентов, используемых, например, при впрыске топлива
систем, насосов или клапанов.
Интерферометры TOPOS позволяют проводить бесконтактное измерение плоскостности притертой поверхности,
Тонкошлифованные и полированные прецизионные детали. погрузочно-разгрузочные работы, особенно при помещении в систему Таким образом, результаты сравнимы и производственная среда. поддаются количественной оценке.