Интерферометр белого света IMS5600-DS используется для измерения расстояний с высочайшей точностью. Контроллер предлагает специальную калибровку с интеллектуальной оценкой и позволяет проводить абсолютные измерения с субнанометровым разрешением. Интерферометр используется для измерительных задач с самыми высокими требованиями к точности, например, в производстве электроники и полупроводников. Для вакуумных приложений Micro-Epsilon предлагает специальные датчики, кабели и проходные аксессуары. Эти датчики и кабели в высокой степени очищены от частиц и могут использоваться даже в сверхвысоком вакууме.

Система обеспечивает абсолютные значения измерений и поэтому может также использоваться для измерения расстояния между ступенчатыми профилями. Благодаря абсолютному измерению, выборка шагов осуществляется с высокой стабильностью сигнала. Таким образом, при измерении на движущихся объектах можно надежно определить разницу в высоте каблуков, ступеней и впадин. Измерительная система обеспечивает субнанометровое разрешение при большом расстоянии смещения по отношению к диапазону измерения.

При многопиковом измерении расстояния на прозрачных объектах одновременно оценивается до 14 значений расстояния. Например, можно определить расстояние между стеклом и несущей плитой. Затем контроллер может рассчитать толщину стекла на основе значений расстояния.

Интерферометры IMS5600-DS могут использоваться для задач измерения в вакуумных средах и чистых помещениях, где интерферометры достигают разрешения в субнанометровом диапазоне.