Спектроскопический эллипсометр с переменным углом VUV-VASE® является золотым стандартом для оптической характеризации тонких пленок для литографии. Он измеряет длины волн от вакуумного ультрафиолета (VUV) до ближнего инфракрасного (NIR). Это обеспечивает невероятную универсальность для определения характеристик многочисленных материалов: полупроводников, диэлектриков, полимеров, металлов, многослойных материалов и жидкостей, таких как иммерсионные жидкости.

Широкий спектральный диапазон
VUV-VASE охватывает длины волн от менее 140 нм до 1700 нм.

Высокая точность
Используя запатентованный AutoRetarder®, VUV-VASE гарантирует точность измерения любого образца.

Удобная загрузка образцов
Специальная конструкция позволяет быстро и эффективно загружать пробы без загрязнения продувки системы.

Защита образцов
Монохроматор размещается перед образцом для ограничения воздействия на светочувствительные материалы.