Типично использовано для применений в верхней части потока управлением давления совместно с массовыми регуляторами потока.

Эти клапаны используют микрометр-устанавливают третье положение от которого клапан можно отдаленно сработать к некоторому степени открытой вакансии. Тело и все главные внутренние компоненты печь вакуума паяемая на 1100°C, на 10-6 торр., обеспечивающ максимальную совместную герметичность. Это исключает возможность «фактически утечек» или зон entrapment пока уменьшая искажение тела нашло в обычно сваренных клапанах. Для целей обслуживания, агрегат экипажа можно извлечь от тела без извлекать клапан от системы.

Характеристики

Нержавеющая сталь Electropolished
Одна из самых малых нутряных поверхностных зон в индустрии клапана вакуума
-клапан закрынный позитвом будет поддерживать свою закрытую позицию в случае потерь элекпропитания последованных за падением давления
Уникально конструкция цилиндра воздуха без механически замков внутри вакуума уменьшает удар и вибрацию к минимуму
Ideal для полупроводника и других чувствительных процессов