Innovacera использует свой глубокий опыт в области керамики и технологические возможности для производства керамики с точно контролируемой пористостью. Пористая керамика часто используется для химической фильтрации и разделения жидкостей.

Пористая керамика Innovacera изготавливается из оксида алюминия и карбида кремния. Прочная, однородная пористая керамика имеет 40-50% открытой пористости с извилистой структурой пор и доступна с размерами пор от 1 до 100 микрон.

Три основные области применения пористой керамики:

Вакуумный патрон, например, вакуумный патрон для скрайбирующих машин, вакуумный патрон для кремниевых вафель.
Адсорбционная платформа.
Подвесная платформа.
Особенно широко они используются в полупроводниковой промышленности, например, для обработки светодиодных пластин.

Рабочий диск из микропористой керамики - это специальный инструмент для адсорбции и подвески в различных процессах производства полупроводниковых пластин, применяется в таких процессах, как утонение, нарезка кубиками, очистка и обработка.

Они могут использоваться с японским, немецким, израильским, американским и отечественным оборудованием, таким как Disco, ADT, K & S, Applied materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point.