Запуск нового продукта: GasPro ™ TEM-2260 высокопроизводительный PTFE 316L в линейную фильтрацию

Фильтры серии GasPro™ TEM-2260 специально разработаны для фильтрации полупроводниковых газов, когда требуется сверхвысокая скорость потока. Эта цельносварная сборка обеспечивает удержание частиц размером 0,003 микрона в тех случаях, когда требуется высокая скорость потока и ограниченное пространство.

ПТФЭ-мембрана и картридж с полипропиленовой опорой заключены в электрополированный сварной корпус из нержавеющей стали 316L. Окончательная сборка продувается отфильтрованным азотом для первоначальной чистоты.

Заявки включают в себя:

- Общие и технологические газы инертных установок.

- Чистый сухой воздух (CDA*) для критических процессов, включая очистку фронтальным отверстием унифицированной капсулы (FOUP) и фотолитографию.

Для получения дополнительной информации просмотрите информационный лист.