Автоматические регенерирующие фильтры используются специально для концентраций 0,5 - 20 г/нм³ с высокохлорированными углеводородами, такими как перхлорэтен.

Паровые регенерирующие фильтрующие установки состоят из полностью автоматических двух- или трехслойных фильтров с активированным углем и интегрированной системой управления. Фильтры изготавливаются из нержавеющей стали или специальных материалов, таких как PVDF или некоторые виды стекла. Другие компоненты включают воздуходувку, теплообменник и фазовый сепаратор.

Загрязненный воздух первоначально подается в первый слой. Углерод адсорбирует загрязняющие вещества из технологического воздуха. После того как слой насытится, подача воздуха переключается на второй слой.
Затем первый слой проходит стадию десорбции. В слой вдувается пар, который десорбирует загрязняющие вещества из углерода. Затем эта парозагрязняющая смесь подается в конденсатор, а оттуда в сепаратор. В сепараторе поток разделяется на растворитель и контактную воду.

Растворитель стекает в резервуар и затем может быть утилизирован.

Затем контактная вода подвергается обработке. В основном используются испарители пограничного слоя Прантнера (GVD) и стриппинг-установки. Загрязняющее вещество отделяется от воды и возвращается на вход установки, где его снова улавливает активированный уголь.