Генератор сигналов смещения для систем радиочастотной плазмы

Prodrive Technologies представляет революционный генератор сигналов смещения, обеспечивающий прямое управление распределением энергии ионов в оболочке при обработке плазмы. Выходная адаптированная форма волны обеспечивает независимый контроль тока и напряжения и измеряется в режиме реального времени. Такое прямое управление энергией ионов оболочки значительно повышает контроль и точность процессов травления и осаждения по сравнению с обычным радиочастотным смещением, позволяя настраивать распределение энергии ионов для обеспечения очень узкого распределения и устранения хвостов. Это приводит к оптимизации скорости процесса и максимальной селективности для чувствительных элементов. Это также снижает энергопотребление смещения, повышая эффективность системы по сравнению с традиционными технологиями.

-Узкое распределение энергии ионов с устранением хвоста
-Максимальный контроль условий смещения с мониторингом формы волны в реальном времени
-Быстрая интеграция с традиционными радиочастотными системами
-Собственная автонастройка формы волны

Видео смещения плазменного генератора

В этом видео схематически показано, как работает адаптированное смещение формы волны.