Особенности

Высокочастотный источник питания (ВЧ источник), создающий 13,56 МГц плазму для тонкопленочной обработки и травления, включая напыление, травление, CVD и ионное покрытие.

Серия RF-120 включает в себя DeviceNet, RS232C и аналоговые интерфейсы в стандартной комплектации. Это многофункциональные источники питания, которые обеспечивают такие характеристики, как работа с шаблонами, функции вырезания/счета электрической дуги, а также вызов данных прошлых лет. Также имеется соответствующая сеть для облегчения комбинации каждого блока питания и подключенного устройства.

Функции
- Работа с моделью
Автоматическое управление выходом, основанное на выходных и временных данных, заданных в источнике питания RF
Можно установить до 3-х деталей с максимум 5-ю точками на каждую
- Дуговой разрез
- Количество искр
Подсчитывает количество раз, когда возникает дуга, и останавливает вывод при достижении заданного числа
- Импульсная операция (опция)
Частота импульсов: 100 Гц ~ 10 кГц, дежурство: 20 ~ 80%
*Импульсный генератор должен быть приобретен отдельно
- Синхронная работа
Может быть подключен к другим источникам питания RF и работать синхронно
- Медленный старт / Замедление
- Контроль пределов отражения
При срабатывании ограничителя отраженной мощности измеряется истекшее время, а при достижении заданного времени выход остановлен
- Память прошлых данных
При возникновении аномалии выводятся внутренние данные за предыдущие 30 секунд
- Подтверждение соответствия
Когда отраженная мощность меньше заданного значения, выдается подтверждающий сигнал
- Подтверждение операции дугового разреза
- Подтверждение работы ограничителя
- Выходной сигнал монитора случайности/отражения мощности
- Подтверждение входного источника питания
- подтверждение выхода РФ
- Выходной сигнал проверки ошибок