FS-3000 объединяет контроллер массового расхода (MFC) компании HORIBA STEC и MuCube (мастер-контроллер). Управляя MFC из MuCube, оснащенного запатентованным алгоритмом управления HORIBA STEC, FS-3000 достигает стабильного контроля разделения.

Алгоритм управления реализует стабильное управление разделением потока, контролируя соотношение расходов, одновременно контролируя давление верхнего потока FS-3000 с помощью оригинальной технологии оптимизации управления HORIBA STEC. Более того, даже при изменении коэффициентов разделения алгоритм управления обеспечивает высокую скорость реакции на разделение расхода.

Улучшенная расширяемость, производительность обслуживания FS-3000 поддерживает разделение до 15 каналов потока благодаря высокоскоростной обработке сигнала. Когда MFC выходит из строя, FS-3000 можно отремонтировать, просто заменив только вышедшее из строя ведомое устройство.

Гибкое реагирование на требуемые характеристики FS-3000 поддерживает широкий диапазон газов, включая смешанные газы. Кроме того, FS-3000 поддерживает RS-485, DeviceNet в качестве пользовательских интерфейсов.